SG-A 系列
SG-系列以其超快速、超节电和高可靠性以及紧凑的尺寸，提升了客户产品的一致性。您可以选择一个性能完全一致匹配，或为您定制一个特殊的配置。
- 半导体芯片
Applied：
Etch： Centura MXP, DPS，eMax；
PVD ： PVD-Strip OX Etch;
CVD ： Centura P-CVD；Centura MXP、DXZ、HDP；P-5000；Victor HDP
Lam：
CVD ： （Novellus）Speed HDP; Concept；Vector HDP
Sumitomo E-TON Implant： Implant-OX-Strip，ION Accelerator - 太阳能/平板显示器
【性能参数】
●1000~8000W, ●高速，最大8个32bitCPU, ●LCD触摸屏 ●配本公司匹配器能做到最短时间匹配
●对应各主机厂商通信协议●各原厂物理尺寸完全匹配
【产品】
半机柜尺寸 |
para-mount互换型 |
半机柜尺寸para-mount互换型 |
RFG-互换型 |
大功率风冷 |
SG-III |