HDP CVD 射频电源安全对策
♦19英吋rack宽度,可直接替换;也可rack整组替换
♦高度较原厂的矮,有利于散热
♦低电压高效分组并联射频放大器
♦低电压高效分组DC inverter
♦电源功率/启动时间数字可控,低功率段电源效率不减
♦电源频率数字可调
♦可选配高速长寿命、双真空蛇型管自动匹配器
- ♦阻燃设计,不会引发火灾
♦直流,交流,射频均使用特氟龙电线
♦RF放大器为多组并联,每组额定输出功率限制在1.5kW以下
♦AC/DC inverter为多组构成,每组额定输出功率限制在3kW以下(成本是m公司 inverter的4倍)(m公司的只有一个10kW)
♦每组inverter 内置保险丝,同时每组都有各自的CPU检测电压和电流
♦SUNSAY GENERIC电源里有多达10个CPU和3个FPGA
♦每组AC/DC inverter 和RF 放大器都留有2倍的余量
♦配合过流保护开关形成多重保护。