Speed CVD 射频电源安全对策

SG-

♦19英吋rack宽度,可直接替换;也可rack整组替换
♦高度较原厂的矮,有利于散热
♦低电压高效分组并联射频放大器
♦低电压高效分组DC inverter
♦电源功率/启动时间数字可控,低功率段电源效率不减
♦电源频率数字可调
♦可选配高速长寿命、双真空蛇型管自动匹配器

【安全电源】
  • ♦阻燃设计,不会引发火灾
    ♦直流,交流,射频均使用特氟龙电线
    ♦RF放大器为多组并联,每组额定输出功率限制在1.5kW以下
    ♦AC/DC inverter为多组构成,每组额定输出功率限制在3kW以下(成本是m公司 inverter的4倍)(m公司的只有一个10kW) 
    ♦每组inverter 内置保险丝,同时每组都有各自的CPU检测电压和电流
    ♦SUNSAY GENERIC电源里有多达10个CPU和3个FPGA 
    ♦每组AC/DC inverter 和RF 放大器都留有2倍的余量
    ♦配合过流保护开关形成多重保护。 



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