GENERIC for DPS--高效风冷、更安全合理的结构设计

♦AMAT Centura DPS / DPN-CVD,Centura HDP CVD / P-CVD,

♦Lam Concept1-2 / Speed / Vector,

♦业界体积最小 ~12kW风冷射频电源,

♦业界唯一 32bit CPU 2~10个 + FPGA 2~4个,分组控制,

♦功率 1kW / 2kW / 3kW / 5kW / 5.5kW / 8kW / 9kW /~12kW

Sunsay for DPS

♦GENERIC 拥有半导体行业最大输出功率、最高效率的、最小体积的风冷射频电源,
  GENERIC的 SG-Ⅳ Series的最高输出功率 12kW(通常风冷电源350-1000W)
  尺寸只有竞品的1/6~1/10 无需冷却水(通常需要200~600 liter /hour) 

♦GENERIC 拥有半导体行业能耗最低的射频电源(只有竞品的40%~80%)

♦最新的RISC 32bit CPU 2~8个,分组控制,实现安全高速的射频控制
  配合Full color 触摸屏,完成高度的自我诊断,并保存多种事件记录

♦阻燃设计,不会引发火灾, 直流,交流,射频均使用特氟龙电线, 放大器内置保险丝,配合过流保护开关形成多重保护

♦SG-IV系列注重环境设计,零部件可回收率高达90%,最大程度的减少了产业废品